ORIGINAL REPORT
国产光刻机里程碑！上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片
天游线路检测中心官网 - 线路质量评估与技术支持编辑部
503 阅读
约 5.5 分钟
快科技11月7日消息，11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行。上海微电子（SMEE）自主研发的新一代前道干式光刻机通用技术平台模型正式亮相，展示了我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。 该平台是一套国产标准化的前道光刻装备架构，适配I-line和KrF两类主流技术路线。其核心的高精度物镜与照明系统、高速双工件台与掩模台、一体化自动物料传输系统均实现了全链条自主可控。 从性能数据来看，国产前道干式光刻机的成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度与生产效率正在紧密追赶国际标杆，具备稳定的工艺适配能力与产线运行可靠性。 目前，多台设备已在国内头部逻辑、存储量产线长期稳定运行，累计支持产线流片超千万片，设备有效运行率超92%，形成了产业链安全可靠的核心优势。 资料显示，SMEE成立于2002年，是国内唯一具备前道干式光刻机稳定量产交付能力的制造商，业务覆盖核心装备的设计研发与生产制造，正持续为我国半导体产业升级提供支撑。 特别
分享这篇内容
让更多人看到有价值的信息
![[流言板]詹姆斯：东契奇&坎宁安是我最喜欢的两名年轻球员](/img/about/[%e6%b5%81%e8%a8%80%e6%9d%bf]%e8%a9%b9%e5%a7%86%e6%96%af%ef%bc%9a%e4%b8%9c%e5%a5%91%e5%a5%87%e5%92%8c%e5%9d%8e%e5%ae%81%e5%ae%89%e6%98%af%e6%88%91%e6%9c%80%e5%96%9c%e6%ac%a2%e7%9a%84%e4%b8%a4%e5%90%8d%e5%b9%b4%e8%bd%bb%e7%90%83%e5%91%98.jpg)
